无尘车间洁净室的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定，在满足加工工艺的条件下，无尘厂房首选应该考虑人的舒适感。随着空气净化要求的提高，工艺对温湿度的要求也越来越高，无尘净化车间必须达到一定的温湿度等级。 例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求... ...